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更新時間: 2019-05-19
產品型號:
所 在 地: 合肥市新站(zhan)區(qu)穎河(he)路(lu)22號
產品特點: 2通道質(zhi)量流量控(kong)制系(xi)統MFC-2Z 是一(yi)款多(duo)路(lu)質(zhi)量流量計(ji)控(kong)制系(xi)統,其質(zhi)量流量計(ji)和不銹鋼混氣罐都安裝在一(yi)個移(yi)動柜里,移(yi)動柜大(da)可(ke)以(yi)承重1000Lbs,所以(yi)在與本公司大(da)多(duo)數管式爐配套使用時,可(ke)將設備(bei)置于(yu)移(yi)動柜上以(yi)節約空間。
設備描(miao)述:
MFC-5Z是(shi)一款多路質量流(liu)量計控制系統,其質量流(liu)量計和(he)不銹鋼混氣(qi)罐都安(an)裝(zhuang)在(zai)一個(ge)移動(dong)柜(ju)里,移動(dong)柜(ju)大(da)可以(yi)承(cheng)重1000Lbs,所(suo)以(yi)在(zai)與本(ben)公司大(da)多數管(guan)式爐配套使用時,可將設備置(zhi)于移動(dong)柜(ju)上以(yi)節約空間。各通道氣(qi)路的(de)流(liu)量設定和(he)狀態顯示都集中在(zai)一個(ge)7"的(de)觸摸屏上,同時可以(yi)實(shi)時查看(kan)氣(qi)體流(liu)量曲線和(he)數據。此款設備廣泛的(de)用于材料界中CVD實(shi)驗和(he)各種材料的(de)退火實(shi)驗。
技術參數(shu)
名稱 | 雙通道 | 三通道 | 四通道 | 五通道 |
質量流量控制(zhi)器(qi) | 工作溫度:5~45ºC 重復精度: ±0.2%F.S. | 工作溫度:5~45 ºC | 工作溫度:5~45 ºC 重復精度: ±0.2%F.S. | 工作溫度: 5~45 ºC |
輸入電源 | AC 220V/50Hz單相 | |||
功率 | 23W | |||
PLC觸(chu)摸(mo)屏 | · 各(ge)通道的氣路設定和查看都(dou)集中在一個7"的觸(chu)摸屏上 · RS485 通(tong)訊接口和(he)PC控溫軟件可(ke)以連接到電腦(nao)上(shang),進(jin)行遠程(cheng)控制(zhi)
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機械壓力(li)表(biao) | · 有一(yi)機械壓力表安裝于前(qian)面板上,與混氣罐相(xiang)連接(jie) · 量程:-0.1~0.15 MPa | |||
針閥(fa) | 316 不銹鋼(gang) | |||
通氣(qi)管道 | · 內(nei)部(bu)連接管道(dao)為(wei)Φ不銹鋼(gang)管 · 外(wai)部通(tong)氣管(guan)道為Φ聚(ju)四氟管(guan) | |||
混氣罐 | Φ80X120mm | |||
截止閥及配件 | ·316不銹(xiu)鋼(gang)針閥 Φ6mm 不銹鋼管 | |||
外形(xing)尺寸 | 600mm(L)x745mm(W)x700mm(H) | |||
質量認證(zheng) | CE認證 | |||
質(zhi)保期 | 一(yi)年質(zhi)保期,終身(shen)維護 |