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2通道質量流量控制系統MFC-2Z*

更新時間:  2019-05-19

產品型號:  

產品報價:  

所  在  地:  合肥市新站區穎(ying)河(he)路22號

產品特點:  2通(tong)道質量(liang)流(liu)量(liang)控制系統(tong)MFC-2Z* 是(shi)一款多(duo)路質量(liang)流(liu)量(liang)計控制系統(tong),其質量(liang)流(liu)量(liang)計和不銹(xiu)鋼混氣罐都安裝在一個移(yi)動柜(ju)里,移(yi)動柜(ju)大可以承重1000Lbs,所以在與本公司大多(duo)數(shu)管式爐(lu)配套(tao)使用時(shi),可將(jiang)設(she)備置于移(yi)動柜(ju)上以節約空間。

(聯系我時,請說明是在化工儀器網上看到的信息,謝謝!)
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產品概述

設備描述(shu):

是一款(kuan)多路質(zhi)量(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)計控(kong)制系統,其質(zhi)量(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)計和(he)不銹(xiu)鋼混氣(qi)(qi)罐(guan)都安(an)裝在一個(ge)移(yi)動(dong)柜里(li),移(yi)動(dong)柜大可以承重1000Lbs,所以在與(yu)本公司大多數管式爐配套使(shi)用(yong)時,可將(jiang)設(she)備(bei)置于(yu)移(yi)動(dong)柜上(shang)以節(jie)約(yue)空間。各通道氣(qi)(qi)路的流(liu)量(liang)(liang)設(she)定和(he)狀態(tai)顯示都集(ji)中在一個(ge)7"的觸摸屏上(shang),同時可以實時查(cha)看氣(qi)(qi)體(ti)流(liu)量(liang)(liang)曲線和(he)數據。此款(kuan)設(she)備(bei)廣泛的用(yong)于(yu)材料(liao)界中CVD實驗(yan)和(he)各種材料(liao)的退(tui)火(huo)實驗(yan)。

技(ji)術參數(shu)

名稱(cheng)

雙通道

三通(tong)道(dao)

四通道

五通道

質量流量控制器

工作溫度:5~45ºC
大壓力:3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
線性:±(0.5-1.5)%F.S

重復精度: ±0.2%F.S.
流量范圍:
一路:1~199 SCCM
二路:1~499 SCCM
注意:其他流量范圍的可定制,需額外費用

工作溫度:5~45 ºC
大壓力:3x106 Pa
精度:±1.5% FS
線性:±(0.5-1.5)%F.S
重復精度:±0.2%F.S.
流量范圍:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM 
三路: 1~499 SCCM 
注意:其他流量范圍的可定制,需額外費用

工作溫度:5~45 ºC
大壓力:3x106 Pa
精度:±1.5% FS
線性:±(0.5-1.5)%F.S.

重復精度: ±0.2%F.S.
流量范圍:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
注意:其他流量范圍的可定制,需額外費用

工作溫度: 5~45 ºC
大壓力:3x106 Pa
精度:±1.5% FS
線性:±(0.5-1.5)%F.S.
重復精度: ±0.2%F.S.
流量范圍:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
五-九路可按照客戶要求定制

輸入電(dian)源

        AC 220V/50Hz單(dan)相

功率

        23W

PLC觸摸屏

·  各通道的氣路設定和查看(kan)都(dou)集中(zhong)在一個7"的觸摸屏上 

· RS485 通訊接口和PC控(kong)溫(wen)軟件(jian)可以連接到電腦上,進行遠程控(kong)制

  

機械壓力表(biao)

·  有一機(ji)械壓力表安裝于(yu)前面(mian)板上,與混(hun)氣罐相連(lian)接

·   量(liang)程:-0.1~0.15 MPa 

針閥

316 不銹鋼

通(tong)氣管道

·  內部連(lian)接管道為(wei)Φ不銹鋼(gang)管 

·  外部通氣(qi)管道(dao)為(wei)Φ聚四氟管

混氣罐

Φ80X120mm

截止閥(fa)及配件

·316不(bu)銹鋼針閥(fa) 

 Φ6mm 不銹鋼管

外(wai)形尺寸

 600mm(L)x745mm(W)x700mm(H)

質量(liang)認證

CE認證

質保期

一年質保期(qi),終身維護


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