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雙溫(wen)區滑(hua)軌爐LFT1200C-II 200D50-5Z

爐體結構

 該化學氣相沉積設備采用雙層殼體并帶有風冷系統，使其爐體表面溫度都小于55℃

 爐底(di)安裝一對滑軌，可(ke)手動滑動，以便(bian)滿足特殊(shu)工藝的(de)快速升(sheng)降溫的(de)求。

爐(lu)管(guan)尺寸

Φ50/60/80/100×1400mm(可提供特殊定制。)

功率

5kW

輸入電壓

220VAC 單相(xiang) 50/60Hz

加熱元件

Cr27Al7MO2（摻鉬鐵鉻鋁合金）

zui高溫度

zui高溫度(du)：1200℃ 

額定溫(wen)度：1100℃

升溫速率

 ≦10℃/min（推(tui)薦）

加熱區長度度

    化學氣相沉積設備兩個加熱區的長度都是200mm

    分(fen)別(bie)由獨立的(de)溫控系統(tong)控制

恒溫(wen)區(qu)長

  ;   100+100mm（±1℃）

     可獲得較長恒(heng)溫區(qu)間(jian)

控溫精度(du)

     ±1℃

快速連(lian)接法蘭

     Φ50快結式(shi)不(bu)銹(xiu)鋼真(zhen)空法(fa)蘭

     打開法蘭直接卸下卡箍即可，取放樣品方便
  另配備有可調節高度的法蘭支架

五路質子流量控(kong)制系統

MFC-5Z

電壓

 220VAC  單相  50/60Hz

針閥材質

 316不(bu)銹鋼

量程

 50sccm、100sccm、500sccm、500sccm、500sccm（可根據工藝要(yao)求提(ti)供多(duo)種量程選擇）

工作溫度

 5～45℃

外型尺寸

 600(L) x 600(W) x 700(H) mm

電壓

 AC220V/50Hz單相

功(gong)率

 23W

真空系統

LVU-10

殼體尺寸

     600 (L) x 600 (W) x 700(H)mm

zui大承載量

     1000 Lbs 

抽氣(qi)速(su)率(lv)

      10m³/h

    極限真空度：10^-1Pa

    雙層立式油污(wu)過濾器(PE材質）與真空泵(beng)連接

質(zhi)保(bao)期

一年(nian)質保期，相關耗(hao)材除外，如爐管，密封圈(quan)加熱元件(jian)(jian)等易耗(hao)件(jian)(jian)

使用(yong)注(zhu)意事項(xiang)

     爐(lu)管內(nei)氣壓不可高(gao)于0.02MPa ;    

    當爐(lu)體溫度高于1000℃時，爐(lu)管內(nei)不可處于真空狀(zhuang)態，爐(lu)管內(nei)的(de)(de)(de)氣壓需和大(da)氣壓相當，保(bao)持在常(chang)壓狀(zhuang)態進入爐(lu)管的(de)(de)(de)氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的(de)(de)(de)大(da)氣流對(dui)加熱(re)石英管的(de)(de)(de)沖擊

    石英管(guan)的長時間使用溫度＜1100℃

    對(dui)于(yu)樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽(chou)氣(qi)閥(fa)和進氣(qi)閥(fa)使用。若需要(yao)關閉氣(qi)閥(fa)對(dui)樣品加熱，則需時刻(ke)(ke)關注壓力表(biao)的示(shi)數(shu)，若氣(qi)壓表(biao)示(shi)數(shu)大于(yu)0.02MPa，必(bi)須立刻(ke)(ke)打開泄氣(qi)閥(fa)，以(yi)防(fang)意外發生(sheng)（如爐管破(po)裂，法蘭飛出等）