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更新時間： 2024-04-29
產品型號：
產品報價： 
所 在 地： 合肥市新站(zhan)區穎河路22號
產品特點： 化學(xue)氣(qi)相(xiang)(xiang)沉積(ji)設備描述：CVD化學(xue)氣(qi)相(xiang)(xiang)沉積(ji)多通道質(zhi)量流(liu)量控制系(xi)統(tong)一款(kuan)多路質(zhi)量流(liu)量計控制系(xi)統(tong)，其質(zhi)量流(liu)量計和(he)不銹(xiu)鋼混(hun)氣(qi)罐都安裝在(zai)(zai)一個移動(dong)柜里(li)，移動(dong)柜Z大可以(yi)(yi)承重1000Lbs，所以(yi)(yi)在(zai)(zai)與本公司大多數(shu)管(guan)式(shi)爐配(pei)套使(shi)用時(shi)，可將(jiang)設備置于(yu)移動(dong)柜上以(yi)(yi)節約空(kong)間。各(ge)通道氣(qi)路的流(liu)量設定和(he)狀態顯(xian)示都集中(zhong)在(zai)(zai)一個7“的觸摸屏上，同時(shi)可以(yi)(yi)實時(shi)查(cha)看氣(qi)體流(liu)量曲線和(he)數(shu)據。此款(kuan)設備廣泛的用于(yu)材料(liao)(liao)界中(zhong)CVD實驗和(he)各(ge)種材料(liao)(liao)的退火實驗。
CVD化學氣相沉積系統技術(shu)參數
| 名稱 | 雙通道 | 三(san)通道(dao) | 四通道 | 五通道 |
| CVD化學氣相沉積多通道質量流量控制系統質量流量控制器 | 工作溫度：5~45ºC 重復精度: ±0.2%F.S. | 工作溫度：5~45 ºC | 工作溫度:5~45 ºC 重復精度: ±0.2%F.S. | 工作溫度: 5~45 ºC |
| 輸(shu)入電源(yuan) | AC 220V/50Hz單相(xiang) | |||
| 功(gong)率 | 23W | |||
| PLC觸摸屏 | · CVD化學氣相沉積多通道質量流量控制系統各通道的氣路設定和查看都集中在一個7"的觸摸屏上 · RS485 通訊接(jie)口和(he)PC控溫軟(ruan)件(jian)可以(yi)連(lian)接(jie)到電腦上，進行遠程(cheng)控制 | |||
| 機(ji)械(xie)壓力(li)表 | · 有一機械壓力表安(an)裝于(yu)前面板上，與(yu)混氣(qi)罐相連接(jie) · 量程:-0.1~0.15 MPa | |||
| 針閥 | 316 不銹(xiu)鋼(gang) | |||
| 通(tong)氣管道 | · 內(nei)部(bu)連(lian)接管道為Φ不銹鋼管 · 外(wai)部通氣管(guan)道為Φ聚四氟管(guan) | |||
| 混氣罐 | Φ80X120mm | |||
| 截(jie)止閥及配件 | ·316不銹鋼針閥 Φ6mm 不銹鋼(gang)管(guan) | |||
| 外形尺(chi)寸 | 600mm(L)x745mm(W)x700mm(H) | |||
| 質量認證 | CE認證 | |||
| 質保期 | 一年質(zhi)保期，終身維護(hu) | |||
地址：合肥市新站區穎河路22號
手機： 15395144171
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