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更新時間： 2024-05-14
產品型號： MFC-5Z
產品報價： 
所 在 地： 合肥市(shi)新(xin)站區穎河路22號
產品特點： CVD化(hua)學(xue)氣相(xiang)沉積多(duo)通道質量(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)控制系統(tong)一款多(duo)路質量(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)計控制系統(tong)，化(hua)學(xue)氣相(xiang)沉積設(she)備(bei)質量(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)計和不銹鋼混氣罐都(dou)安裝(zhuang)在(zai)一個移動柜(ju)里，移動柜(ju)Z大可(ke)(ke)以(yi)承重1000Lbs，所以(yi)在(zai)與本公司(si)大多(duo)數管式(shi)爐配(pei)套(tao)使用時(shi)(shi)，可(ke)(ke)將設(she)備(bei)置于(yu)移動柜(ju)上以(yi)節約空(kong)間。各通道氣路的流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)設(she)定(ding)和狀態顯(xian)示(shi)都(dou)集中(zhong)在(zai)一個7“的觸摸屏上，同時(shi)(shi)可(ke)(ke)以(yi)實(shi)時(shi)(shi)查看氣體流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)曲線(xian)和數據。此款設(she)備(bei)廣泛的用于(yu)材料(liao)(liao)界(jie)中(zhong)CVD實(shi)驗和各種材料(liao)(liao)的退火實(shi)驗。
技術參(can)數
| 名(ming)稱 | 雙(shuang)通(tong)道 | 三通道(dao) | 四通道 | 五通道 |
| CVD化學氣相沉積多通道質量流量控制系統質量流量控制器 | 工作溫度：5~45ºC 重復精度: ±0.2%F.S. | 工作溫度：5~45 ºC | 工作溫度:5~45 ºC 重復精度: ±0.2%F.S. | 工作溫度: 5~45 ºC |
| 輸入(ru)電源 | AC 220V/50Hz單(dan)相 | |||
| 功率 | 23W | |||
| PLC觸摸屏 | · CVD化學氣相沉積多通道質量流量控制系統各通道的氣路設定和查看都集中在一個7"的觸摸屏上 · RS485 通訊(xun)接(jie)口和PC控溫軟件可以連(lian)接(jie)到電腦上，進行遠程控制(zhi) | |||
| 機械(xie)壓(ya)力表 | · 有一機械壓(ya)力(li)表安裝于前面板上，與混氣罐(guan)相連接 · 量程:-0.1~0.15 MPa | |||
| 針(zhen)閥 | 316 不銹鋼 | |||
| 通(tong)氣管道 | ·; 內部連接管道為(wei)Φ不銹(xiu)鋼管 · 外部通氣(qi)管(guan)道為Φ聚四氟管(guan) | |||
| 混氣罐 | Φ80X120mm | |||
| 截止閥及配件 | ·316不銹(xiu)鋼針閥 Φ6mm 不銹鋼管 | |||
| 外形尺寸 | 600mm(L)x745mm(W)x700mm(H) | |||
| 質量認(ren)證(zheng) | CE認證 | |||
| 質(zhi)保期 | 一年質保期(qi)，終身維護 | |||
地址：合肥市新站區穎河路22號
手機： 15395144171
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