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更新時間： 2023-11-10
產品型號：
產品報價： 
所 在 地： 合肥市新站區穎河路22號
產品特點： 設(she)備描述：CVD化學氣(qi)相沉積多通道質(zhi)量(liang)(liang)(liang)流量(liang)(liang)(liang)控制(zhi)系(xi)統一(yi)款多路(lu)質(zhi)量(liang)(liang)(liang)流量(liang)(liang)(liang)計控制(zhi)系(xi)統，其質(zhi)量(liang)(liang)(liang)流量(liang)(liang)(liang)計和(he)(he)不銹鋼混氣(qi)罐都(dou)安裝在一(yi)個移動(dong)(dong)柜(ju)里，移動(dong)(dong)柜(ju)Z大(da)可以(yi)承重1000Lbs，所以(yi)在與本公(gong)司大(da)多數(shu)管(guan)式爐配(pei)套使用(yong)(yong)時，可將設(she)備置于移動(dong)(dong)柜(ju)上(shang)以(yi)節約空間。各通道氣(qi)路(lu)的(de)流量(liang)(liang)(liang)設(she)定和(he)(he)狀態顯示都(dou)集中在一(yi)個7“的(de)觸摸屏上(shang)，同時可以(yi)實(shi)時查(cha)看氣(qi)體流量(liang)(liang)(liang)曲線和(he)(he)數(shu)據。此款設(she)備廣(guang)泛的(de)用(yong)(yong)于材料界中CVD實(shi)驗和(he)(he)各種材料的(de)退火實(shi)驗。
技(ji)術參數
| 名稱 | 雙通(tong)道 | 三通道 | 四通(tong)道 | 五通道 |
| CVD化學氣相沉積多通道質量流量控制系統質量流量控制器 | 工作溫度：5~45ºC 重復精度: ±0.2%F.S. | 工作溫度：5~45 ºC | 工作溫度:5~45 ºC 重復精度: ±0.2%F.S. | 工作溫度: 5~45 ºC |
| 輸入電源 | AC 220V/50Hz單相(xiang) | |||
| 功率 | 23W | |||
| PLC觸摸屏 | · CVD化學氣相沉積多通道質量流量控制系統各通道的氣路設定和查看都集中在一個7"的觸摸屏上 · RS485 通(tong)訊接口和PC控溫軟件可(ke)以連接到電(dian)腦(nao)上，進行(xing)遠程控制(zhi) | |||
| 機械(xie)壓(ya)力(li)表(biao) | · 有一機械壓力表(biao)安(an)裝于前面板上，與混氣罐(guan)相連接(jie) · 量程:-0.1~0.15 MPa | |||
| 針(zhen)閥(fa) | 316 不(bu)銹鋼 | |||
| 通氣管道 | · 內部連接管道為Φ不銹鋼管 · 外部(bu)通氣管道為(wei)Φ聚四氟管 | |||
| 混氣(qi)罐 | Φ80X120mm | |||
| 截(jie)止(zhi)閥及配件 | ·316不銹(xiu)鋼針閥 Φ6mm 不銹鋼管 | |||
| 外形尺寸 | 600mm(L)x745mm(W)x700mm(H) | |||
| 質量認證(zheng) | CE認證(zheng) | |||
| 質(zhi)保(bao)期 | 一年質(zhi)保(bao)期(qi)，終(zhong)身(shen)維護 | |||
地址：合肥市新站區穎河路22號
手機： 15395144171
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