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(含預熱器)雙溫區滑軌式CVD系統廠家

更新時間:  2019-05-19

產品型號:  

產品報價:  

所  在  地:  合肥市新站區穎河路22號

產品特點:  (含預熱器)雙(shuang)溫區(qu)滑軌式CVD系統廠(chang)家 雙(shuang)溫區(qu)滑軌爐(lu)可(ke)移動并可(ke)實現快速(su)升(sheng)降(jiang)溫;PLC控制5路質子(zi)流(liu)量(liang)器,能(neng)夠精確(que)控制系統的供氣;真空泵可(ke)實現對管式爐(lu)快速(su)抽真空。CVD(化學氣象沉積(ji)系統)常用于表(biao)面材料生長、沉積(ji),是一款(kuan)實驗(yan)室常用設備

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產品概述

設備描述

CVD1200C-II-SL  200D50-5Z(含(han)預熱器(qi)) 雙(shuang)溫區滑(hua)(hua)軌(gui)(gui)式CVD系(xi)統由預熱(re)爐、雙(shuang)溫區滑(hua)(hua)軌(gui)(gui)爐、質子流(liu)量控(kong)制(zhi)系(xi)統、真空(kong)系(xi)統三部分組成(cheng)。雙(shuang)溫區滑(hua)(hua)軌(gui)(gui)爐可(ke)(ke)移動并(bing)可(ke)(ke)實(shi)現(xian)快速升降溫;PLC控(kong)制(zhi)5路質子流(liu)量器,能夠精確控(kong)制(zhi)系(xi)統的供氣;真空(kong)泵可(ke)(ke)實(shi)現(xian)對管式爐快速抽真空(kong)。CVD(化學氣象沉(chen)積系(xi)統)常用于表(biao)面材料生長、沉(chen)積,是(shi)一款實(shi)驗室常用設備

技術參數

 

 

 

 

 

 

 

 

 

雙溫(wen)區滑軌爐LFT1200C-II 200D50

爐(lu)體結(jie)構(gou)

該設備采用雙層(ceng)殼體(ti)并帶有風冷系(xi)統,使其(qi)爐體(ti)表面溫(wen)度都小于55℃

·           爐(lu)底安裝一對滑軌,可手動滑動,以便滿足特殊工藝的(de)(de)快速(su)升(sheng)降(jiang)溫(wen)的(de)(de)要求。

爐管尺寸

Φ50/60/80/100×1600mm(可提供特殊定制。)

功率(lv)

5kW

輸入(ru)電壓

220VAC 單相 50/60Hz

加熱(re)元件

Cr27Al7MO2(摻(chan)鉬鐵鉻鋁合金)

高溫度

高溫度(du):1200℃ 

額定溫度:1100℃

升溫速率

 ≦10℃/min(推薦(jian))

加熱區長度度

·         兩個加熱區(qu)的長度(du)都是(shi)200mm

·         分別由獨立的溫控系統控制(zhi)

恒溫區長(chang)

·         100+100mm(±1℃)

·        ; 可獲(huo)得較長恒溫區間(jian)

控溫精度

·          ±1℃

快(kuai)速(su)連接法蘭

·         Φ50快結式不銹鋼真空(kong)法蘭

·         打開法蘭直接卸下卡箍即可,取放樣品方便
另配備有可調節高度的法蘭支架

 

 

預熱爐

功(gong)率

·         1kw

加熱區

·         100mm

高溫度

·         1200℃

工(gong)作(zuo)溫度

·      ;   200-800℃(可(ke)根(gen)據實(shi)際工藝需求調整(zheng))

 

 

五路(lu)質(zhi)子流量控制系(xi)統

MFC-5Z

電壓

220VAC  單相  50/60Hz

針閥材質(zhi)

316不銹鋼

量程

50sccm、100sccm、500sccm、500sccm、500sccm(可根據工藝(yi)要(yao)求提(ti)供多種量程選(xuan)擇)

工作溫度

5~45℃

外型(xing)尺寸

600(L) x ;600(W) x 700(H) mm

電壓

AC220V/50Hz單相

功率

23W

 

 

真(zhen)空系統

LVU-10

殼體尺寸

·         600 (L) x 600 (W) x 700(H)mm

大承載量

·         1000 Lbs 

抽(chou)氣速率

·    ;     10m³/h

·         極限真空度:10-1Pa

·         雙層(ceng)立式油污(wu)過濾(lv)器(PE材(cai)質)與真(zhen)空泵連接

質(zhi)保期

一年質保期(qi),(相(xiang)關耗材除外,如(ru)爐管,密封圈(quan)加熱元(yuan)件等(deng)易(yi)耗件)

 

 

 

 

使用注意事(shi)項

·         爐(lu)管內氣壓(ya)不可高(gao)于0.02MPa

· ;       

·         當爐體(ti)(ti)溫度高于(yu)(yu)1000℃時,爐管(guan)內(nei)不可處于(yu)(yu)真空狀態(tai),爐管(guan)內(nei)的(de)氣(qi)壓需和大(da)氣(qi)壓相當,保持在常壓狀態(tai)進入爐管(guan)的(de)氣(qi)體(ti)(ti)流量需小(xiao)于(yu)(yu)200SCCM,以避(bi)免冷的(de)大(da)氣(qi)流對加熱石英管(guan)的(de)沖擊

·         石(shi)英管的長時間使用溫度<1100℃

·  ;       對(dui)于樣(yang)(yang)品(pin)加(jia)熱的(de)實驗,不建(jian)議(yi)關(guan)(guan)閉爐管法(fa)(fa)蘭(lan)端的(de)抽氣(qi)閥(fa)(fa)和進(jin)氣(qi)閥(fa)(fa)使用。若需要關(guan)(guan)閉氣(qi)閥(fa)(fa)對(dui)樣(yang)(yang)品(pin)加(jia)熱,則需時刻(ke)關(guan)(guan)注壓(ya)力表(biao)的(de)示(shi)(shi)數(shu),若氣(qi)壓(ya)表(biao)示(shi)(shi)數(shu)大(da)于0.02MPa,必須立刻(ke)打開泄(xie)氣(qi)閥(fa)(fa),以(yi)防意外發生(如爐管破(po)裂,法(fa)(fa)蘭(lan)飛出等(deng))


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