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更新時間: 2019-05-19
產品型號:
所 在 地: 合肥市新站區穎河路22號
產品特點: (含預熱器)雙(shuang)溫區(qu)滑軌式CVD系統廠(chang)家 雙(shuang)溫區(qu)滑軌爐(lu)可(ke)移動并可(ke)實現快速(su)升(sheng)降(jiang)溫;PLC控制5路質子(zi)流(liu)量(liang)器,能(neng)夠精確(que)控制系統的供氣;真空泵可(ke)實現對管式爐(lu)快速(su)抽真空。CVD(化學氣象沉積(ji)系統)常用于表(biao)面材料生長、沉積(ji),是一款(kuan)實驗(yan)室常用設備
設備描述
CVD1200C-II-SL 200D50-5Z(含(han)預熱器(qi)) 雙(shuang)溫區滑(hua)(hua)軌(gui)(gui)式CVD系(xi)統由預熱(re)爐、雙(shuang)溫區滑(hua)(hua)軌(gui)(gui)爐、質子流(liu)量控(kong)制(zhi)系(xi)統、真空(kong)系(xi)統三部分組成(cheng)。雙(shuang)溫區滑(hua)(hua)軌(gui)(gui)爐可(ke)(ke)移動并(bing)可(ke)(ke)實(shi)現(xian)快速升降溫;PLC控(kong)制(zhi)5路質子流(liu)量器,能夠精確控(kong)制(zhi)系(xi)統的供氣;真空(kong)泵可(ke)(ke)實(shi)現(xian)對管式爐快速抽真空(kong)。CVD(化學氣象沉(chen)積系(xi)統)常用于表(biao)面材料生長、沉(chen)積,是(shi)一款實(shi)驗室常用設備
技術參數
雙溫(wen)區滑軌爐LFT1200C-II 200D50 | 爐(lu)體結(jie)構(gou) | 該設備采用雙層(ceng)殼體(ti)并帶有風冷系(xi)統,使其(qi)爐體(ti)表面溫(wen)度都小于55℃ · 爐(lu)底安裝一對滑軌,可手動滑動,以便滿足特殊工藝的(de)(de)快速(su)升(sheng)降(jiang)溫(wen)的(de)(de)要求。 |
爐管尺寸 | Φ50/60/80/100×1600mm(可提供特殊定制。) | |
功率(lv) | 5kW | |
輸入(ru)電壓 | 220VAC 單相 50/60Hz | |
加熱(re)元件 | Cr27Al7MO2(摻(chan)鉬鐵鉻鋁合金) | |
高溫度 | 高溫度(du):1200℃ 額定溫度:1100℃ | |
升溫速率 | ≦10℃/min(推薦(jian)) | |
加熱區長度度 | · 兩個加熱區(qu)的長度(du)都是(shi)200mm · 分別由獨立的溫控系統控制(zhi) | |
恒溫區長(chang) | · 100+100mm(±1℃) · 可獲(huo)得較長恒溫區間(jian) | |
控溫精度 | · ±1℃ | |
快(kuai)速(su)連接法蘭 | · Φ50快結式不銹鋼真空(kong)法蘭 · 打開法蘭直接卸下卡箍即可,取放樣品方便 | |
預熱爐 | 功(gong)率 | · 1kw |
加熱區 | · 100mm | |
高溫度 | · 1200℃ | |
工(gong)作(zuo)溫度 | · 200-800℃(可(ke)根(gen)據實(shi)際工藝需求調整(zheng)) | |
五路(lu)質(zhi)子流量控制系(xi)統 MFC-5Z | 電壓 | 220VAC 單相 50/60Hz |
針閥材質(zhi) | 316不銹鋼 | |
量程 | 50sccm、100sccm、500sccm、500sccm、500sccm(可根據工藝(yi)要(yao)求提(ti)供多種量程選(xuan)擇) | |
工作溫度 | 5~45℃ | |
外型(xing)尺寸 | 600(L) x 600(W) x 700(H) mm | |
電壓 | AC220V/50Hz單相 | |
功率 | 23W | |
真(zhen)空系統 LVU-10 | 殼體尺寸 | · 600 (L) x 600 (W) x 700(H)mm |
大承載量 | · 1000 Lbs | |
抽(chou)氣速率 | · 10m³/h · 極限真空度:10-1Pa · 雙層(ceng)立式油污(wu)過濾(lv)器(PE材(cai)質)與真(zhen)空泵連接 | |
質(zhi)保期 | 一年質保期(qi),(相(xiang)關耗材除外,如(ru)爐管,密封圈(quan)加熱元(yuan)件等(deng)易(yi)耗件) | |
使用注意事(shi)項 | · 爐(lu)管內氣壓(ya)不可高(gao)于0.02MPa · · 當爐體(ti)(ti)溫度高于(yu)(yu)1000℃時,爐管(guan)內(nei)不可處于(yu)(yu)真空狀態(tai),爐管(guan)內(nei)的(de)氣(qi)壓需和大(da)氣(qi)壓相當,保持在常壓狀態(tai)進入爐管(guan)的(de)氣(qi)體(ti)(ti)流量需小(xiao)于(yu)(yu)200SCCM,以避(bi)免冷的(de)大(da)氣(qi)流對加熱石英管(guan)的(de)沖擊 · 石(shi)英管的長時間使用溫度<1100℃ · 對(dui)于樣(yang)(yang)品(pin)加(jia)熱的(de)實驗,不建(jian)議(yi)關(guan)(guan)閉爐管法(fa)(fa)蘭(lan)端的(de)抽氣(qi)閥(fa)(fa)和進(jin)氣(qi)閥(fa)(fa)使用。若需要關(guan)(guan)閉氣(qi)閥(fa)(fa)對(dui)樣(yang)(yang)品(pin)加(jia)熱,則需時刻(ke)關(guan)(guan)注壓(ya)力表(biao)的(de)示(shi)(shi)數(shu),若氣(qi)壓(ya)表(biao)示(shi)(shi)數(shu)大(da)于0.02MPa,必須立刻(ke)打開泄(xie)氣(qi)閥(fa)(fa),以(yi)防意外發生(如爐管破(po)裂,法(fa)(fa)蘭(lan)飛出等(deng)) |