Quality is life, service is the tenet
更新時間： 2019-05-19
產品型號：
產品報價： 
所 在 地： 合肥市新站區穎河路22號
產品特點： 三溫區真(zhen)空氣氛(fen)回轉爐CVD系(xi)統 是(shi)集三溫區真(zhen)空回轉爐、三路質量(liang)流量(liang)計系(xi)統及(ji)低真(zhen)空機組(zu)而(er)成(cheng)一種動態狀態下的(de)化學氣相沉積系(xi)統。三溫區開啟式真(zhen)空回轉管式爐采用雙層風冷結(jie)構(gou)，爐體表面溫度≤60℃，爐膛采用高純(chun)度氧化鋁微晶纖維高溫真(zhen)空吸附成(cheng)型。
設備特點：
CVD1200C 900D60IIIR 3ZLV 是集三(san)溫(wen)區真(zhen)空(kong)回轉(zhuan)爐(lu)、三(san)路質量流量計系統(tong)及(ji)低真(zhen)空(kong)機(ji)組而(er)成一種動態(tai)狀態(tai)下的化學氣相沉積系統(tong)。三溫區開啟式真空回轉管(guan)式爐采用雙層風冷結構，爐體表面(mian)溫度≤60℃，爐膛采用(yong)高(gao)純度氧化鋁微(wei)晶纖維高(gao)溫真空(kong)吸(xi)附成型。。進口加熱(re)電阻絲(si)鑲嵌延(yan)長爐(lu)體使用壽命，該設(she)備(bei)(bei)容許粉末(mo)樣(yang)(yang)品(pin)(pin)在高(gao)溫狀態下(xia)動態燒結(jie)(jie)處(chu)理(li)，配(pei)備(bei)(bei)磁流體密封裝置，使得整個設(she)備(bei)(bei)處(chu)于真(zhen)空(kong)狀態下(xia)工(gong)作。特殊(shu)樣(yang)(yang)品(pin)(pin)倉結(jie)(jie)構(gou)設(she)計，避免(mian)傳(chuan)統(tong)回(hui)轉(zhuan)爐(lu)取(qu)樣(yang)(yang)等繁(fan)瑣(suo)操(cao)作，該回(hui)轉(zhuan)加熱(re)爐(lu)與氣(qi)路控制(zhi)系(xi)統(tong)及真(zhen)空(kong)構(gou)成真(zhen)空(kong)回(hui)轉(zhuan)CVD系(xi)統(tong)，滿足(zu)樣(yang)(yang)品(pin)(pin)在真(zhen)空(kong)或者氣(qi)氛條(tiao)等多(duo)種實(shi)驗(yan)條(tiao)件(jian)下(xia)燒結(jie)(jie)，工(gong)藝擴展型好，重復性好。是專為(wei)高(gao)等院校﹑科研院所(suo)的實(shi)驗(yan)室及工(gong)礦企(qi)業在高(gao)溫真(zhen)空(kong)添加下(xia)處(chu)理(li)粉末(mo)材料的理(li)想(xiang)設(she)備(bei)(bei).
技術參數：
名稱 | 規(gui)格 | 開啟式三溫區真(zhen)空回轉管式爐CVD系統(tong) CVD1200C 900D60IIIR3ZLV |
三溫區真空回轉爐 | 爐(lu)管(guan)尺寸 | Φ60×1400mm 更多(duo)其他規格石英管可選(xuan)（Φ50/60/80/100mm等） 配備特殊設計(ji)石(shi)英樣(yang)品倉(cang)，可(ke)將樣(yang)品倉(cang)整管取出，取放(fang)樣(yang)方便(bian) |
主要參數 | 高溫度: 1200℃(使用(yong)時必須通入惰性(xing)氣體(ti)以防止爐管發(fa)生形變) 工作溫(wen)度: 1100℃ 推薦升(sheng)溫速率:≤10℃/min 加熱區長(chang)度: 300+300+300mm 額定功率(lv)：7KW 旋轉(zhuan)(zhuan)速度(du)：0-13轉(zhuan)(zhuan)/min 電壓：單相(xiang)AC 208 - 240V, 50Hz | |
爐體結(jie)構 | 雙層空(kong)氣(qi)冷卻鋼殼保持爐表面(mian)溫度低(di)于(yu)60°C 高純(chun)狀氧化鋁纖維絕(jue)緣(yuan)層(ceng)，大限度節約能源 爐(lu)膛(tang)和加熱元(yuan)件上(shang)的特(te)殊耐(nai)火涂層可延長爐(lu)子的使(shi)用(yong)壽命 | |
溫控(kong)系統 | 模糊PID控制和自整(zheng)定調節(jie)功能(neng) 智能化30段可編程控制 具(ju)有超溫及(ji)斷(duan)偶報警功能(neng) 控(kong)溫精度: ±1 ℃ K型熱(re)電偶 可安裝PC控制軟件對數據(ju)進行實時采集（需另購） | |
溫控(kong)儀(yi)表（可選(xuan)） | 標配儀表品(pin)牌為宇(yu)電(dian)，可其他品(pin)牌溫控儀表，如(ru)島電(dian)等。 | |
管堵 | 多種(zhong)規(gui)格管(guan)(guan)堵(du)，防止來自內部管(guan)(guan)子(zi)的熱輻射，管(guan)(guan)堵(du)在加(jia)熱前必須*放入(ru)爐腔。石英管(guan)(guan)堵(du)滿足潔(jie)凈實驗環境(jing)或者較(jiao)高(gao)真(zhen)空需求 | |
密封系統 | 爐管兩端配有不銹鋼密(mi)封法蘭。（包括精密(mi)針(zhen)閥、指針(zhen)式真空壓力表、軟管接頭(tou)） 如需獲得較高的真空度，建議(yi)采(cai)用不(bu)銹鋼波紋管連接及(ji)數顯(xian)真空計（需另外訂購） 出氣端配備(bei)磁流體密封(feng)裝置，容許設備(bei)在連續真空(kong)條件下工作。 備注(zhu)：本公(gong)司標配法規格(ge)如下(xia)進氣端Φ6卡(ka)套接口，可連接Φ6不銹(xiu)管或者(zhe)聚四氟管。 出氣(qi)(qi)端預留KF25接口，方便連接真空泵，KF16接口，方便連接數顯真空計，以及Φ9氣(qi)(qi)嘴接頭，以便出氣(qi)(qi) | |
擴(kuo)展(zhan)端口(kou) | 如進氣管(guan)道為橡膠軟管(guan)，則需將進氣口更換(huan)成Φ9氣嘴接頭 | |
真(zhen)空度 | 雙(shuang)極旋片機械泵：10^-1Pa 分子泵機組(zu)：10^-3 Pa 可(ke)選配本公司配套高低真空 | |
外形尺寸 | 650mm(L) ×450mm(W) × 550mm(H) | |
凈重(zhong) | 40Kg | |
三(san)路質量流量控(kong)制系統 MFC-3Z | 電壓 | 220VAC 單相 50/60Hz |
針閥材質 | 316不銹鋼 | |
量程 | 50sccm、100sccm、200sccm（可(ke)根據工藝(yi)要求提供多種量程選擇） | |
工作溫(wen)度(du) | 5～45℃ | |
外(wai)型尺寸 | 600(L) x 600(W) ;x 750(H) mm | |
電(dian)壓 | AC220V/50Hz單(dan)相 | |
功率 | 23W | |
真空系統 LVU-10 | 殼體(ti)尺寸 | 600 (L) x 600 (W) x 750(H)mm |
大承(cheng)載(zai)量(liang) | 1000 Lbs | |
抽氣(qi)速(su)率(lv) | 10m³/h 極(ji)限真空(kong)度：10-1Pa 雙層立式油污過濾器(PE材質）與真空泵(beng)連(lian)接 | |
質保期 | 一年保修，終身技術支持。 特別提示：1.耗材部分如加(jia)熱(re)元件，石英管，樣品坩堝等不(bu)包含在內。 2.因使用腐蝕性氣(qi)體和酸性氣(qi)體造成(cheng)的損害不在保修(xiu)范(fan)圍內。 | |
相關(guan)應用 | 爐膛(tang)內襯可以單獨更(geng)換（額外(wai)付費） 可(ke)以根(gen)據要求(qiu)設(she)計成帶有滑動法蘭的爐子 | |
應(ying)用注意(yi)事項 | 爐管內氣壓不(bu)可高于0.02MPa 由于氣瓶(ping)內部氣壓較高(gao)，所以向爐(lu)管內通入氣體時，氣瓶(ping)上必須安(an)裝減(jian)(jian)壓閥，建議在本(ben)公司選購減(jian)(jian)壓閥，本(ben)公司減(jian)(jian)壓閥量程(cheng)為(wei)0.01MPa-0.1MPa,使用時會(hui)更加精確(que)安(an)全 當爐(lu)體溫度高于(yu)1000℃時，爐(lu)管(guan)(guan)內不可處于(yu)真空(kong)狀態，爐(lu)管(guan)(guan)內的氣(qi)壓(ya)需和大氣(qi)壓(ya)相當，保持在常壓(ya)狀態 進入爐管(guan)的(de)(de)氣體(ti)流量需小于200SCCM，以避免冷的(de)(de)大氣流對加熱石英管(guan)的(de)(de)沖擊 石(shi)英管的長時間使用溫度＜1100℃ 對于(yu)樣(yang)品(pin)(pin)加熱(re)的實(shi)驗，不建議關閉爐管(guan)法蘭(lan)端的抽氣閥(fa)和進氣閥(fa)使(shi)用。若需要關閉氣閥(fa)對樣(yang)品(pin)(pin)加熱(re)，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于(yu)0.02MPa，必須立刻打開(kai)泄氣閥(fa)，以(yi)防意(yi)外發生(sheng)（如爐 管(guan)破裂，法蘭(lan)飛出等） | |
地址：合肥市新站區穎河路22號
手機： 15395144171
郵箱：hfcpi123@126.com