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更新時間： 2019-05-19
產品型號：
產品報價： 
所 在 地： 合肥市新站區穎(ying)河(he)路22號
產品特點： 三溫區真(zhen)空(kong)氣氛回(hui)轉(zhuan)爐(lu)(lu)(lu)CVD系(xi)統報價 是集三溫區真(zhen)空(kong)回(hui)轉(zhuan)爐(lu)(lu)(lu)、三路質量流(liu)量計系(xi)統及低真(zhen)空(kong)機(ji)組而(er)成一種動態狀態下(xia)的化學氣相(xiang)沉(chen)積系(xi)統。三溫區開啟式(shi)(shi)真(zhen)空(kong)回(hui)轉(zhuan)管式(shi)(shi)爐(lu)(lu)(lu)采用雙層風冷(leng)結構，爐(lu)(lu)(lu)體(ti)表(biao)面溫度≤60℃，爐(lu)(lu)(lu)膛采用高(gao)純度氧(yang)化鋁(lv)微晶纖(xian)維高(gao)溫真(zhen)空(kong)吸(xi)附成型。
設備(bei)特點(dian)：
CVD1200C 900D60IIIR 3ZLV 是(shi)集三(san)溫區真(zhen)空(kong)回轉爐、三(san)路質量(liang)流量(liang)計系(xi)統(tong)及低(di)真(zhen)空(kong)機組(zu)而成一種動態(tai)狀態(tai)下的化(hua)學氣相沉積系(xi)統(tong)。三(san)溫區開(kai)啟(qi)式真空回轉(zhuan)管式爐(lu)(lu)采用雙(shuang)層風冷結構(gou)，爐(lu)(lu)體(ti)表面溫度≤60℃，爐膛(tang)采用高純度氧化鋁微晶纖維高溫真(zhen)空吸附成型。。進口加熱電阻絲鑲嵌(qian)延長爐(lu)體(ti)使(shi)用壽命(ming)，該(gai)設(she)備(bei)容許粉(fen)末(mo)(mo)樣品在(zai)高溫狀(zhuang)態(tai)下(xia)動態(tai)燒結處(chu)理，配備(bei)磁流體(ti)密封(feng)裝置，使(shi)得整(zheng)個設(she)備(bei)處(chu)于真空(kong)狀(zhuang)態(tai)下(xia)工作(zuo)。特殊樣品倉結構(gou)(gou)設(she)計，避(bi)免傳統回轉(zhuan)(zhuan)爐(lu)取(qu)樣等(deng)繁瑣操作(zuo)，該(gai)回轉(zhuan)(zhuan)加熱爐(lu)與氣路控制(zhi)系統及(ji)真空(kong)構(gou)(gou)成真空(kong)回轉(zhuan)(zhuan)CVD系統，滿足樣品在(zai)真空(kong)或者氣氛條等(deng)多種實(shi)驗條件下(xia)燒結，工藝擴展型好(hao)，重復(fu)性好(hao)。是專(zhuan)為高等(deng)院校﹑科(ke)研院所的(de)實(shi)驗室及(ji)工礦企業(ye)在(zai)高溫真空(kong)添加下(xia)處(chu)理粉(fen)末(mo)(mo)材料(liao)的(de)理想(xiang)設(she)備(bei).
技(ji)術參數：
名(ming)稱 | 規格(ge) | 開啟式三(san)溫(wen)區真(zhen)空回轉管式爐(lu)CVD系(xi)統 CVD1200C 900D60IIIR3ZLV |
三溫區真空回轉(zhuan)爐 | 爐(lu)管尺寸(cun) | Φ60×1400mm 更多其他(ta)規格石英管可選（Φ50/60/80/100mm等） 配備特殊(shu)設計(ji)石英(ying)樣品(pin)倉(cang)，可將樣品(pin)倉(cang)整管取出，取放樣方便 |
主要參(can)數(shu) | 高溫度: 1200℃(使用時必(bi)須通入(ru)惰性氣體以防(fang)止爐管發生形(xing)變) 工作溫(wen)度(du): 1100℃ 推(tui)薦升溫速率(lv):≤10℃/min 加熱(re)區長度(du): 300+300+300mm 額定功率：7KW 旋轉(zhuan)速度：0-13轉(zhuan)/min 電壓：單相(xiang)AC 208 - 240V, 50Hz | |
爐(lu)體(ti)結構 | 雙層空氣冷卻鋼殼保持爐表面溫度低于(yu)60°C 高純狀(zhuang)氧化鋁纖維絕緣層，大限(xian)度節約能源 爐膛和加熱(re)元件(jian)上的特(te)殊耐(nai)火涂(tu)層可延長爐子的使用壽命(ming) | |
溫控系統 | 模糊PID控(kong)制和自整定調(diao)節功能 智能(neng)化30段可編(bian)程(cheng)控制 具有超溫及斷偶報警功能 控溫精度(du): ±1 ℃ K型熱(re)電(dian)偶 可安裝(zhuang)PC控制軟件對數據進(jin)行實時采(cai)集(ji)（需另(ling)購） | |
溫(wen)控儀表（可選） | 標(biao)配儀(yi)表品牌為宇電，可(ke)其他(ta)品牌溫控儀(yi)表，如(ru)島電等。 | |
管堵 | 多種規(gui)格管(guan)堵(du)，防(fang)止來自(zi)內部管(guan)子的熱輻射，管(guan)堵(du)在(zai)加熱前必須*放(fang)入爐腔。石英管(guan)堵(du)滿(man)足潔凈實驗(yan)環境或者較(jiao)高(gao)真空(kong)需求 | |
密封系統 | 爐管(guan)兩(liang)端配有(you)不銹鋼密封法蘭。（包括精(jing)密針(zhen)閥、指針(zhen)式真空壓力表(biao)、軟(ruan)管(guan)接頭） 如需獲(huo)得較(jiao)高的真空度，建議采(cai)用不銹(xiu)鋼波紋管連(lian)接(jie)及(ji)數顯真空計(ji)（需另外訂(ding)購） 出(chu)氣端配備(bei)磁流體密封裝置，容許設備(bei)在(zai)連續真空條件下(xia)工作(zuo)。 備注：本公(gong)司標(biao)配法規格如(ru)下(xia)進氣端Φ6卡(ka)套接口，可連接Φ6不銹管或者(zhe)聚四氟管。 出氣端預(yu)留KF25接口(kou)，方(fang)(fang)便(bian)連接真(zhen)空(kong)泵，KF16接口(kou)，方(fang)(fang)便(bian)連接數顯真(zhen)空(kong)計，以及Φ9氣嘴接頭(tou)，以便(bian)出氣 | |
擴展端口 | 如進(jin)氣管道為橡膠軟管，則需將進(jin)氣口更換成Φ9氣嘴接頭 | |
真空度 | 雙極旋片機械泵：10^-1Pa 分(fen)子泵(beng)機組：10^-3 Pa 可選配本(ben)公司配套高低真空 | |
外形尺寸 | 650mm(L) ×450mm(W) × 550mm(H) | |
凈重 | 40Kg | |
三(san)路質量(liang)流量(liang)控制系(xi)統 MFC-3Z | 電壓 | 220VAC 單相(xiang) 50/60Hz |
針閥材質 | 316不(bu)銹(xiu)鋼 | |
量程 | 50sccm、100sccm、200sccm（可(ke)根據工藝要求提供多種量程選擇） | |
工作溫(wen)度 | 5～45℃ | |
外型(xing)尺寸 | 600(L) x 600(W) x 750(H) mm | |
電壓 | AC220V/50Hz單相 | |
功率 | 23W | |
真空系統(tong) LVU-10 | 殼體(ti)尺寸 | 600 (L) x 600 (W) x 750(H)mm |
大承載量 | 1000 Lbs | |
抽氣速率 | 10m³/h 極限真空度：10-1Pa 雙層(ceng)立式油(you)污過濾(lv)器(PE材質）與真空泵連接 | |
質保期(qi) | 一(yi)年保修，終身技術支(zhi)持。 特別提示：1.耗材(cai)部分如加熱元件，石英管，樣品坩(gan)堝等不包含在內。 2.因使用(yong)腐蝕性氣(qi)(qi)體和(he)酸性氣(qi)(qi)體造(zao)成(cheng)的(de)損害不在(zai)保修范圍內。 | |
相關(guan)應用 | 爐膛內(nei)襯可以單獨更換(huan)（額外(wai)付費） 可以根據(ju)要(yao)求(qiu)設(she)計成帶(dai)有滑動法蘭的爐子 | |
應用注(zhu)意事項(xiang) | 爐管內氣壓不可高(gao)于(yu)0.02MPa 由于氣(qi)瓶內部(bu)氣(qi)壓較高，所以向爐管內通入氣(qi)體時(shi)，氣(qi)瓶上(shang)必須安裝減(jian)壓閥(fa)，建議(yi)在本公司(si)選購(gou)減(jian)壓閥(fa)，本公司(si)減(jian)壓閥(fa)量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shi)會更加(jia)精確安全 當(dang)爐體溫度高于1000℃時(shi)，爐管(guan)內不(bu)可處(chu)于真空狀(zhuang)態，爐管(guan)內的氣(qi)(qi)壓需和大氣(qi)(qi)壓相當(dang)，保持(chi)在常壓狀(zhuang)態 進入爐管(guan)(guan)的(de)氣(qi)體(ti)流(liu)量需小于(yu)200SCCM，以避免冷的(de)大氣(qi)流(liu)對加(jia)熱石英管(guan)(guan)的(de)沖擊 石英管的長時間使用(yong)溫度＜1100℃ 對(dui)于樣(yang)品加熱(re)的實驗，不(bu)建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥(fa)和(he)進氣閥(fa)使用。若需要(yao)關閉氣閥(fa)對(dui)樣(yang)品加熱(re)，則(ze)需時(shi)刻關注壓力表(biao)(biao)的示數，若氣壓表(biao)(biao)示數大于0.02MPa，必須(xu)立刻打開泄氣閥(fa)，以防意外(wai)發生(sheng)（如爐 管破裂，法蘭飛出等） | |
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