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更新時間： 2019-05-19
產品型號：
產品報價： 
所 在 地： 合肥市新站區穎河(he)路22號
產品特點： （含預熱器(qi)）雙溫區滑軌式CVD系(xi)統(tong) 雙溫區滑軌爐可移動并可實現(xian)(xian)快(kuai)速升降(jiang)溫；PLC控制5路質子(zi)流量器(qi)，能夠精確控制系(xi)統(tong)的供氣(qi)；真(zhen)空泵可實現(xian)(xian)對管式爐快(kuai)速抽真(zhen)空。CVD（化學氣(qi)象沉(chen)積(ji)系(xi)統(tong)）常(chang)用于表面材料生長(chang)、沉(chen)積(ji)，是一款實驗室常(chang)用設備
設備描述
CVD1200C-II-SL 200D50-5Z(含預熱(re)器(qi)) 雙溫(wen)(wen)區(qu)滑軌式CVD系(xi)(xi)統(tong)(tong)(tong)由(you)預熱爐、雙溫(wen)(wen)區(qu)滑軌爐、質子流量控制系(xi)(xi)統(tong)(tong)(tong)、真(zhen)(zhen)空(kong)系(xi)(xi)統(tong)(tong)(tong)三部分組成。雙溫(wen)(wen)區(qu)滑軌爐可移動并可實現快速(su)升降溫(wen)(wen)；PLC控制5路質子流量器(qi)，能(neng)夠精確控制系(xi)(xi)統(tong)(tong)(tong)的供氣；真(zhen)(zhen)空(kong)泵可實現對管(guan)式爐快速(su)抽真(zhen)(zhen)空(kong)。CVD（化學氣象沉積系(xi)(xi)統(tong)(tong)(tong)）常用(yong)于表面材料生長(chang)、沉積，是(shi)一款實驗室常用(yong)設備(bei)
技(ji)術參數
雙溫區(qu)滑軌(gui)爐(lu)LFT1200C-II 200D50 | 爐體結構 | 該設(she)備采(cai)用雙層殼體(ti)并帶有風冷(leng)系統，使其爐體(ti)表面溫度都小于(yu)55℃ · 爐底安(an)裝一對(dui)滑(hua)(hua)軌，可手(shou)動(dong)滑(hua)(hua)動(dong)，以便滿足(zu)特殊工藝的(de)快速升降溫(wen)的(de)要求(qiu)。 |
爐管尺寸 | Φ50/60/80/100×1600mm(可提供特殊定(ding)制(zhi)。) | |
功率 | 5kW | |
輸入電壓 | 220VAC 單相 50/60Hz | |
加(jia)熱元(yuan)件 | Cr27Al7MO2（摻鉬鐵(tie)鉻鋁合(he)金） | |
高溫度 | 高溫度：1200℃ 額定(ding)溫度：1100℃ | |
升溫速率(lv) | ≦10℃/min（推薦(jian)） | |
加熱(re)區長(chang)度度 | · 兩個(ge)加熱(re)區的(de)長(chang)度都是200mm · ; 分別由獨立的溫控系統控制 | |
恒溫區長 | · 100+100mm（±1℃） · ; 可(ke)獲(huo)得較(jiao)長恒(heng)溫區(qu)間 | |
控溫精(jing)度 | · ±1℃ | |
快速連接法(fa)蘭 | · Φ50快(kuai)結(jie)式不銹鋼真空法蘭 · 打開法蘭直接卸下卡箍即可，取放樣品方便 | |
預(yu)熱爐(lu) | 功率 | · 1kw |
加熱區 | · ; 100mm | |
高溫度 | · 1200℃ | |
工作溫度 | · 200-800℃（可根據實(shi)際工(gong)藝需求調(diao)整） | |
五路(lu)質子(zi)流(liu)量控制(zhi)系統 MFC-5Z | 電壓 | 220VAC 單相 50/60Hz |
針閥材質 | 316不銹(xiu)鋼(gang) | |
量程 | 50sccm、100sccm、500sccm、500sccm、500sccm（可根據工藝(yi)要求提供多種量程選(xuan)擇） | |
工作(zuo)溫度 | 5～45℃ | |
外型尺寸 | 600(L) x 600(W) x 700(H) mm | |
電壓 | AC220V/50Hz單相 | |
功率 | 23W | |
真空系統 LVU-10 | 殼(ke)體尺寸 | · 600 (L) x ;600 (W) x 700(H)mm |
大承載量 | · 1000 Lbs | |
抽氣速率 | · 10m³/h · 極限真空度：10-1Pa · 雙層立式油(you)污(wu)過濾(lv)器(qi)(PE材質）與(yu)真空泵(beng)連接(jie) | |
質保期 | 一年質保期(qi)，(相關耗材除外，如爐管，密封圈加(jia)熱元(yuan)件等易耗件) | |
使用注意事項 | · ; 爐管內氣壓(ya)不可高于0.02MPa · · ; 當爐(lu)(lu)體溫度(du)高于1000℃時，爐(lu)(lu)管內不(bu)可處于真空狀態，爐(lu)(lu)管內的(de)氣(qi)壓(ya)需(xu)(xu)和大氣(qi)壓(ya)相當，保持在常壓(ya)狀態進入爐(lu)(lu)管的(de)氣(qi)體流量需(xu)(xu)小(xiao)于200SCCM，以(yi)避(bi)免(mian)冷的(de)大氣(qi)流對加熱石英管的(de)沖擊 · 石英管的長時間使(shi)用溫度＜1100℃ · 對于(yu)樣(yang)品加(jia)熱(re)的(de)(de)實(shi)驗，不建議關閉爐管法(fa)蘭(lan)端的(de)(de)抽氣(qi)閥和進氣(qi)閥使用。若需(xu)要關閉氣(qi)閥對樣(yang)品加(jia)熱(re)，則需(xu)時(shi)刻關注(zhu)壓力(li)表(biao)的(de)(de)示數，若氣(qi)壓表(biao)示數大(da)于(yu)0.02MPa，必(bi)須立刻打開泄氣(qi)閥，以防意外發生（如爐管破裂，法(fa)蘭(lan)飛出等） | |
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